螺桿式無油干式機械真空泵是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙
合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的
螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽
內(柱形等螺距)進行傳輸運動，但無壓縮，只有螺桿泵最末端的螺旋
結構對氣體有壓縮作用。螺桿泵的各級間可形成壓力梯度，以分散壓
差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉速對泵的性能有很大影響。在設
計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環境(
如抽除含粉塵氣體等)等。該泵與羅茨真空泵一樣不設排氣閥。　　
泵是立式結構，進氣口在上方，排氣口在中部，下部為電機和
潤滑油池。螺桿泵轉子呈中空形，為懸臂支承結構。同步傳動齒輪位
于軸承支座下面。變頻電機通過聯軸節與主動轉子連接。泵的氣體路徑較短，且立式結構對排除含微塵氣
體較為有利。螺桿泵外殼有水冷卻，螺桿泵維修也便利。　
這種類型的泵如果選用適當的較簡單螺桿牙型截面，則制造簡
單，可保證很高的加工精度，且容易動平衡。